Спасибо за ответы.
Измерил падение напряжения на ШД. Относительно земли при минусе на земле везде бесконечность, при + на земле везде около 0.55В. Относительно Vcc интереснее. При минусе на Vcc тоже бесконечность, но при + напряжение плавно (секунд за 3-5) увеличивается примерно до 0.96В, причем на D6 и D7 оно увеличивается выше 1В, после чего мой мультиметр показывает бесконечность. Действительно похоже какую-то паразитную емкость. Жаль, нечем измерить. Непонятно, откуда эта емкость может браться, разве что с китайских подтягивающих резисторов
Искаженные сигналы имеют место и при вставленной ПЗУ. Вряд ли это паразитная емкость щупов влияет, тогда бы на всех линиях были треугольные сигналы, а у меня на 4 из 8.
На 20 ноге ПЗУ земля, на 22 ноге есть сигнал, но тоже, что характерно, с плавными фронтами.
Фото платы и осциллограмма с 22 ноги
https://ibb.co/pjTkTkNd
https://ibb.co/yBcSsrvM
https://ibb.co/jkVzktF2
Кстати, пробовал менять процессор, проблема осталась.
Дополнение:
Поменял подтягивающие резисторы - безрезультатно.
Еще интересно, зачем на М1 стоит резистор. Интересно, что прямо на выводе процессора М1 сигнал нормальный, а после резистора уже фронты затянутые. Поднял резистор - со стороны триггера DD59, на резисторе все равно фронты затягиваются.