Что-ж, вот новые фотографии 580ВМ80 сверху:

Первые фотографии после травления, больше грязи - меньше перетрава.
http://s.zeptobars.ru/kr580vm80a-3.jpg
http://s.zeptobars.ru/kr580vm80a-3-HD.jpg

Еще одно травление, грязи меньше, местами подтравило
http://s.zeptobars.ru/kr580vm80a-2.jpg
http://s.zeptobars.ru/kr580vm80a-2-HD.jpg

В темном поле - контрастно видна металлизация без via:
http://s.zeptobars.ru/kr580vm80a-metal-darkfield.jpg
http://s.zeptobars.ru/kr580vm80a-metal-darkfield-HD.jpg

В светлом поле с хитрой поляризацией - видна металлизация с via:
http://s.zeptobars.ru/kr580vm80a-metal-polarization.jpg
http://s.zeptobars.ru/kr580vm80a-met...ization-HD.jpg

Осталось стравить металлизацию и сделать фотографию поликремния.