Цитата Сообщение от BarsMonster Посмотреть сообщение
Проблема в том, что поликремний травится в buffered oxide etch не должен. Травится только алюминий и стекло.
Выглядит оно очень и очень похоже на ангстремовский н-МОП серии 1801, а в том техпроцессе точно поликремний.

Цитата Сообщение от BarsMonster Посмотреть сообщение
Так что пока мистика.
Угу, есть непонятка, но все равно вышло очень удачно.